इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप स्कैनिंग के बुनियादी सिद्धांत
स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप इलेक्ट्रॉन गन द्वारा उत्सर्जित इलेक्ट्रॉन बीम को एक बिंदु प्रकाश स्रोत में केंद्रित और गाढ़ा किया जाता है; बिंदु प्रकाश स्रोत एक तेज वोल्टेज के तहत एक उच्च ऊर्जा इलेक्ट्रॉन बीम बनाता है; उच्च ऊर्जा इलेक्ट्रॉन बीम दो विद्युत चुम्बकीय लेंस के माध्यम से एक छोटे व्यास के साथ एक प्रकाश स्थान में केंद्रित है, और एक स्कैनिंग कुंडल के साथ एक विद्युत चुम्बकीय लेंस के बाद पिछले एक के माध्यम से गुजरता है, इलेक्ट्रॉन बीम एक raster की तरह स्कैनिंग तरीके से बिंदु द्वारा नमूना सतह बिंदु बौछार, और एक ही समय में विभिन्न गहराई के इलेक्ट्रॉनिक संकेतों उत्तेजित ।